Специалисты СПбПУ объявили о создании безмасочного нанолитографа

Изображение: Midjourney

Ученые питерского СПбПУ объявили о создании двух передовых установок, которые должны позволить России сохранить суверенитет в области технологий микроэлектроники. Речь идет об установке безмасочной нанолитографии и установке по плазмохимическому травлению кремния.

Безмасочный нанолитограф, разработанный в СПбПУ, позволит получать изображения на кремниевых подложках без применения маски, что значительно проще и заметно дешевле, чем в случае с обычными литографами, использующими шаблоны. Для данного полностью автоматизированного литографа уже разработано необходимое ПО.

В свою очередь установка по плазмохимическому травлению, помимо формирования наноструктур, предназначена для создания кремниевых мембран. Причем руководитель данного проекта утверждает, что такие мембраны по своей чувствительности и высокой надежности превосходят аналоги, изготовленные травлением лазером или жидкостью.

Безмасочная нанолитография и плазмохимическое травление может применяться в самых разных направлениях. К примеру, за счет их применения при создании радиолокационного оборудования можно добиться 20-кратного повышения срока службы, а в случае выпуска солнечных панелей — снизить их размеры и вес с возможностью работы в пасмурyую погоду не теряя КПД.

Как сообщается, специалисты СПбПУ продолжат работы по совершенствованию своих установок и в ближайшее время планируют наделить их машинным обучением, а также развивать свои наработки в области технологий силовой электроники.